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Nanofabrication Steven Dew , Maria Stepanova Intended to update scientists and engineers on the current state of the art in a variety of key techniques used extensively in the fabrication of structures at the nanoscale. The present work covers the essential technologies for creating sub 25 nm features... Editeur : Springer Parution : 2011-11-08 ePub 147,69 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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