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Dry Etching for Microelectronics R.A. Powell This volume collects together for the first time a series of in-depth, critical reviews of important topics in dry etching, such as dry processing of III-V compound semiconductors, dry etching of refractory metal silicides and dry etching aluminium and aluminium alloys.... Editeur : North Holland Parution : 2012-12-02 PDF sans DRM 57,97 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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