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Process Variations in Microsystems Manufacturing Michael Huff This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps. The book places an emphasis on the process variations in the device dimensions resulting from these... Editeur : Springer Parution : 2020-04-09 Collection : Microsystems and Nanosystems PDF, ePub 147,69 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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