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Process Variations in Microsystems Manufacturing



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Éditeur :

Springer


Collection :

Microsystems and Nanosystems

Paru le : 2020-04-09



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147,69 €
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Description
This book thoroughly examines and explains the basic processing steps used in MEMS fabrication (both integrated circuit and specialized micro machining processing steps. The book places an emphasis on the process variations in the device dimensions resulting from these commonly used processing steps. This will be followed by coverage of commonly used metrology methods, process integration and variations in material properties, device parameter variations, quality assurance and control methods, and design methods for handling process variations. A detailed analysis of future methods for improved microsystems manufacturing is also included. This book is a valuable resource for practitioners, researchers and engineers working in the field as well as students at either the undergraduate or graduate level.
Pages
521 pages
Collection
Microsystems and Nanosystems
Parution
2020-04-09
Marque
Springer
EAN papier
9783030405588
EAN PDF
9783030405601
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
5
Nombre pages imprimables
52
Taille du fichier
22364 Ko
Ce livre est accessible aux handicaps Voir les informations sur l'accessibilité
Prix
147,69 €
EAN EPUB
9783030405601
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
5
Nombre pages imprimables
52
Taille du fichier
25784 Ko
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Prix
147,69 €

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