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Chemistry for Electronic Materials
G. Wahl , K.F. Jensen , T. Hirai , Yves Pauleau
The chemical aspects of materials processing used for electronic applications, e.g. Si, III-V compounds, superconductors, metallization materials, are covered in this volume. Significant recent advances have occurred in the development of new volatile precursors for the...

Editeur : North Holland
Parution : 1993-03-09
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