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Directed Self-assembly of Block Co-polymers for Nano-manufacturing Paul Nealey , Roel Gronheid The directed self-assembly (DSA) method of patterning for microelectronics uses polymer phase-separation to generate features of less than 20nm, with the positions of self-assembling materials externally guided into the desired pattern. Directed self-assembly of Block... Editeur : Woodhead Publishing Parution : 2015-07-17 PDF, epub sans DRM 226,82 € PDF epub sans DRM J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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