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Scaling Issues and Design of MEMS Salvatore Baglio , Salvatore Castorina , Nicolo Savalli This accessible volume delivers a complete design methodology for microelectromechanical systems (MEMS). Focusing on the scaling of an autonomous micro-system, it explains the real-world problems and theoretical concepts of several different aspects inherent to the... Editeur : Wiley-Interscience Parution : 2008-07-31 PDF 125,53 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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