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Analysis and Design Principles of MEMS Devices Minhang Bao Sensors and actuators are now part of our everyday life and appear in many appliances, such as cars, vending machines and washing machines. MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) are micro systems consisting of micro mechanical sensors, actuators and micro electronic... Editeur : Elsevier Science Parution : 2005-04-12 epub sans DRM 101,23 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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