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Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metallic Targets María Ángela Pampillón Arce This thesis describes the fabrication of metal-insulator-semiconductor (MIS) structures using very high permittivity dielectrics (based on rare earths) grown by high-pressure sputtering from metallic targets. It demonstrates the possibility of depositing high... Editeur : Springer Parution : 2017-10-04 Collection : Springer Theses PDF, ePub 94,94 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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