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Photoresist Technology in Microsystems: Principles, Processes and Applications Kaiying Wang This book presents a comprehensive overview of recent advances in photoresist technology, a cornerstone of modern microfabrication. Photoresists enable the precise patterning essential for creating microelectronic devices, MEMS, biomedical systems, and photonic... Editeur : Springer Parution : 2025-10-14 PDF, ePub 168,79 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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