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Dual-Mass Linear Vibration Silicon-Based MEMS Gyroscope Huiliang Cao This book introduces the key technologies in the manufacture of double-mass line vibrating silicon micromechanical gyroscope, respectively. The design of gyrostructure, detection technology, orthogonal correction technology, the influence of temperature and the design... Editeur : Springer Parution : 2023-04-17 PDF, ePub 158,24 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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