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Principles and Applications of NanoMEMS Physics Hector Santos Principles and Applications of NanoMEMS Physics presents the first unified exposition of the physical principles at the heart of NanoMEMS-based devices and applications. In particular, after beginning with a comprehensive presentation of the fundamentals and... Editeur : Springer Parution : 2006-07-02 Collection : Microsystems PDF 147,69 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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