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Thin Films by Chemical Vapour Deposition C.E. Morosanu The explosive growth in the semiconductor industry has caused a rapid evolution of thin film materials that lend themselves to the fabrication of state-of-the-art semiconductor devices. Early in the 1960s an old research technique named chemical vapour phase deposition... Editeur : Elsevier Science Parution : 2016-06-22 PDF sans DRM 74,85 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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