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Silicon Anodization as a Structuring Technique

Literature Review, Modeling and Experiments

de

Éditeur :

Springer Vieweg


Paru le : 2017-09-10



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Description

Alexey Ivanov investigates the application of a silicon anodization process as a three-dimensional structuring technique, where silicon is transformed into porous silicon as a sacrificial layer or directly dissolved in electropolishing regime. The work contains a detailed state of the art, experimental studies and modeling of the process for basic shape controlling techniques. Limitations of the developed FEM model with secondary current distribution are discussed. ?
Pages
316 pages
Collection
n.c
Parution
2017-09-10
Marque
Springer Vieweg
EAN papier
9783658192372
EAN PDF
9783658192389
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
3
Nombre pages imprimables
31
Taille du fichier
10547 Ko
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Prix
52,74 €

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