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Plasma Nanoscience

Basic Concepts and Applications of Deterministic Nanofabrication

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Éditeur :

Wiley-VCH


Paru le : 2008-09-08



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Description
Filling the need for a single work specifically addressing how to use plasma for the fabrication of nanoscale structures, this book is the first to cover plasma deposition in sufficient depth.
The author has worked with numerous R&D institutions around the world, and here he begins with an introductory overview of plasma processing at micro- and nanoscales, as well as the current problems and challenges, before going on to address surface preparation, generation and diagnostics, transport and the manipulation of nano units.
Pages
563 pages
Collection
n.c
Parution
2008-09-08
Marque
Wiley-VCH
EAN papier
9783527407408
EAN PDF
9783527623310
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
0
Nombre pages imprimables
563
Taille du fichier
14807 Ko
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Prix
160,99 €

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