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Design for Manufacturability with Advanced Lithography

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Éditeur :

Springer


Paru le : 2015-10-28

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Description
This book introduces readers to the most advanced research results on Design for Manufacturability (DFM) with multiple patterning lithography (MPL) and electron beam lithography (EBL). The authors describe in detail a set of algorithms/methodologies to resolve issues in modern design for manufacturability problems with advanced lithography. Unlike books that discuss DFM from the product level or physical manufacturing level, this book describes DFM solutions from a circuit design level, such that most of the critical problems can be formulated and solved through combinatorial algorithms.
Pages
164 pages
Collection
n.c
Parution
2015-10-28
Marque
Springer
EAN papier
9783319203843
EAN PDF
9783319203850
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
16
Taille du fichier
5489 Ko
Prix
52,99 €
EAN EPUB
9783319203850
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
16
Taille du fichier
2632 Ko
Prix
52,99 €

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