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Temperature Measurement during Millisecond Annealing

Ripple Pyrometry for Flash Lamp Annealers

de

Éditeur :

Springer


Collection :

MatWerk

Paru le : 2016-01-07



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Description

Denise Reichel studies the delicate subject of temperature measurement during lamp-based annealing of semiconductors, in particular during flash lamp annealing. The approach of background-correction using amplitude-modulated light to obtain the sample reflectivity is reinvented from rapid thermal annealing to apply to millisecond annealing. The author presents a new method independent of the lamp operation to obtain this amplitude modulation and derives a formula to describe the process. Further, she investigates the variables of the formula in depth to validate the method’s suitability for background-corrected temperature measurement. The experimental results finally proof its power for elevated temperatures.
Pages
112 pages
Collection
MatWerk
Parution
2016-01-07
Marque
Springer
EAN papier
9783658113872
EAN PDF
9783658113889
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
11
Taille du fichier
4895 Ko
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Prix
52,74 €

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