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Description
Plasma etching plays an essential role in microelectronic circuit manufacturing. Suitable for researchers, process engineers, and graduate students, this book introduces the basic physics and chemistry of electrical discharges and relates them to plasma etching mechanisms. Throughout the volume the authors offer practical examples of process chemistry, equipment design, and production methods.
Pages
476 pages
Collection
n.c
Parution
1989-09-08
Marque
Academic Press
EAN papier
9780124693708
EAN EPUB
9780080924465
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
47
Nombre pages imprimables
47
Taille du fichier
12882 Ko
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Prix
57,97 €

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