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MEMS Materials and Processes Handbook



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Éditeur :

Springer


Collection :

MEMS Reference Shelf

Paru le : 2011-03-18



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Description

MEMs Materials and Processes Handbook" is a comprehensive reference for researchers searching for new materials, properties of known materials, or specific processes available for MEMS fabrication. The content is separated into distinct sections on "Materials" and "Processes". The extensive Material Selection Guide" and a "Material Database" guides the reader through the selection of appropriate materials for the required task at hand. The "Processes" section of the book is organized as a catalog of various microfabrication processes, each with a brief introduction to the technology, as well as examples of common uses in MEMs.
Pages
1188 pages
Collection
MEMS Reference Shelf
Parution
2011-03-18
Marque
Springer
EAN papier
9780387473161
EAN EPUB
9780387473185
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
11
Nombre pages imprimables
118
Taille du fichier
18350 Ko
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Prix
284,94 €

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